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  title={플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성},
  author={이창현, 서성보, 오지용, 진익현, 손선영, 김화민},
  journal={전기전자재료학회논문지},
  year={2015},
  volume={제28권 제5호},
  page={300-305}
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%0 Journal Article %T 플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성
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김화민 .  "플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성"  전기전자재료학회논문지  제28권 제5호  (2015) : 300-305

김화민 , 서성보 , 손선영 , 오지용 , 이창현 , 진익현 (2015).
플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성  전기전자재료학회논문지,  제28권 제5호,  300-305.

이창현, 서성보, 오지용, 진익현, 손선영, 김화민.  "플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성"  전기전자재료학회논문지  제28권 제5호  (2015) : 300-305

TY  - JOUR

TI  - 플라즈마 에칭공정에 따른 산화물 박막의 광촉매 표면 특성

AU  - 김화민

AU  - 서성보

AU  - 손선영

AU  - 오지용

AU  - 이창현

AU  - 진익현

JO  - 전기전자재료학회논문지

VL  - 제28권 제5호

SP  - 300

EP  - 305

PY  - 2015